真空準位は、電子が物質表面から脱出するために必要なエネルギー閾値を表します。通常、半導体の伝導帯の上に位置し、さまざまな物質内の電子エネルギーを比較するためのベンチマークとして機能します。
半導体の電子親和力は、伝導帯の最小値と真空準位の間のエネルギーギャップを指し、半導体が追加の電子をどれだけ簡単に受け入れることができるかを決定する重要なパラメータです。
仕事関数は、電子をフェルミ準位 (電子が存在する可能性が 50% のエネルギー準位) から真空準位に移動するために必要な最小エネルギー量を表します。この値は物質によって異なり、金属は通常、フェルミ準位が密集しているため、2 ~ 5 eV の高い仕事関数を示します。
一方、半導体は、ドーピングや温度変化などの要因によって影響を受けるフェルミ準位の性質が変化するため、動的な仕事関数を示します。
金属と半導体が接触すると、両者は平衡状態を目指し、電荷移動によって接合部全体の真空レベルが均一になり、両方の材料のフェルミ準位が揃うまで続きます。これにより半導体内のエネルギーバンドが曲がり、ショットキー障壁が形成されます。ショットキー障壁は、金属半導体接合部を移動する電子に対する潜在的なエネルギー障壁です。
ショットキー障壁の高さは接合部の導電性を左右し、金属の仕事関数と半導体の電子親和力の関係によって決まります。
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