Активная зондовая атомно-силовая микроскопия с кватропараллельными кантилевеверными решетками для высокопроизводительного крупномасштабного контроля образцов

Сканирующая зондовая микроскопия, основанная на новых микроэлектромеханических системных зондах, называется активными кантилевами. Консоли со встроенным приводом и датчиком имеют ряд преимуществ по сравнению с пассивными консолями, которые полагаются на пьезоэлектрическое возбуждение и измерение отклонения оптического луча. Новейшей разработкой в этой области является реализация массивов активных консолей для высокопроизводительной параллельной СЗМ-визуализации.

В массивах активных консолей используются встроенные пьезорезистивные датчики, обеспечивающие чувствительность, сравнимую с оптическими методами считывания, без дифракционных ограничений, что позволяет использовать более компактные, мягкие и компактные датчики АСМ. Результаты этой методики проложили путь к эксплуатации и созданию высокопроизводительных атомно-силовых микроскопов с использованием высокоскоростной многоканальной электроники. Достижения в этой технологии могут способствовать более быстрой и надежной эксплуатации массивно-параллельных активных консольных систем в будущем.