Fabrication de couches minces thermoélectriques Bi₂Te₃ et Sb₂Te₃ à l’aide de la technique de pulvérisation cathodique magnétron par radiofréquence

Nos recherches portent sur la fabrication de couches minces de haute qualité pour les générateurs thermoélectriques afin de récupérer la chaleur résiduelle et de la transformer en électricité. Diverses techniques de dépôt de couches minces ont été étudiées et développées, y compris la pulvérisation magnétron par radiofréquence qui est capable de produire des couches minces robustes et de haute densité avec une meilleure adhérence et une grande uniformité. Cette méthode ne nécessite pas de fusion et d’évaporation des matériaux cibles, ce qui permet à la plupart des matériaux d’être déposés quelle que soit leur température de fusion, ce qui la rend supérieure aux autres technologies de dépôt physique en phase vapeur.