بروتوكول لدينا يوفر تقنية لتخصيص توزيع الجسيمات النانوية، ملفقة على الركيزة، مع تغيير ديناميات dewetting، دون تغيير سمك المواد. أسلوبنا بسيط، ومع ذلك لا يزال يوفر مجموعة من أحجام الجسيمات. تقنيات أخرى هناك تتطلب خطوات حجرية واسعة لتوفير التحكم الجسيمات.
يوفر التحكم لدينا لتوزيع الجسيمات تقنية لتصنيع الجسيمات النانوية التي تفيد الأبحاث التي تركز على تحويل الطاقة الشمسية ، وإنشاء الأجهزة الضوئية ، وزيادة كثافة تخزين البيانات. إيلاء اهتمام وثيق لسمك الترسب في كل خطوة. لدينا تقنية حساسة للغاية ل سمك طبقة.
توفر رؤية التجربة التي تم تنفيذها مستوى من التفاصيل لا يمكن نقلها في الطباعة. ومن الضروري رؤية أمثلة تتحرك طوال العملية. أولاً، نظف 100 نانومتر ثاني أكسيد السيليكون على الركيزة السيليكون، وذلك باستخدام شطف الأسيتون، يليه شطف كحول الأيزوبروبيل.
جفف الركيزة باستخدام تيار من غاز النيتروجين. تحميل الركيزة في نظام المبخر الحراري وإخلاء الغرفة للوصول إلى الضغط المطلوب لترسب الفيلم المعدني. ضمان أن يتم إخلاء الغرفة إلى الضغط على أمر من 10 إلى 10 ناقص ستة torr لإزالة بخار الهواء والماء في الغرفة.
باستخدام نظام المبخر الحراري ، قم بإيداع فيلم الذهب في السمك المطلوب ، وهو خمسة نانومتر في هذه التجربة. في مراحل الترسب الثانية، الضغط الأرجون هو واحد إلى خمسة millitorr، ويتم إعطاء مجموعة كما يتم اختيار الضغوط المختلفة لمعايرة لمعدل الترسب. لدينا تقنية حساسة للغاية لسمك الفيلم، كما هو مبين في نتائجنا.
ومن الأهمية بمكان معايرة معدلات الترسب قبل إيداع الأفلام، لضمان سمك مناسب. بعد ترسب، تنفيس الغرفة وإزالة الركيزة، مع الفيلم المعدني المودع، من نظام المبخر الحراري. بعد ذلك ، قم بتحميل الركيزة ، مع فيلم معدني مترسب ، في نظام ترسب سفلي مغنطرون مباشر وإخلاء للوصول إلى الضغط المطلوب لترسب فيلم التعبئة.
لتحديد موقع العينة في النظام، ضع العينة في تأمين التحميل. والجهاز ينقل العينة إلى غرفة الترسب الرئيسية لضمان مستوى كاف من الفراغ. الآن، إيداع طبقة تغطية المواد المطلوبة وسمك، بعد إجراء مماثل وحالة ترسب طبقة الذهب.
مع متغير سمك Illumina، في هذه الحالة. بعد الترسب، تنفيس الغرفة وإزالة العينة المعدة من نظام ترسب sputter. ضع فيلم الذهب الخمسة نانومتر، توج مع Illumina، على لوحة ساخنة قبل ساخنة في 300 درجة مئوية، والسماح للعينة إلى dewet لمدة ساعة واحدة.
حفر Illumina، في حين ترك الذهب والركيزة الكامنة مع محلول مائي من هيدروكسيد الأمونيوم وبيروكسيد الهيدروجين في 80 درجة مئوية لمدة ساعة واحدة. لتوصيف, إعداد العينة لتكون متوافقة الفراغ عن طريق الشطف مع الأسيتون والكحول الأيزوبروبيل. ثم جفف العينة باستخدام تيار من غاز النيتروجين.
صور أفلام الجسيمات النانوية باستخدام المجهر الإلكتروني المسح الضوئي تحت فراغ عال وفي التكبير عالية. إجراء تحليل الصور للحصول على معلومات عن حجم الجسيمات النانوية وتوزيعات التباعد. وقد استخدم البروتوكول الموصوف هنا لعدة معادن وأظهر القدرة على إنتاج جسيمات نانوية على ركيزة على مساحة كبيرة، مع حجم يمكن التحكم فيه والتباعد.
تظهر النتائج التمثيلية هنا، وتسليط الضوء على القدرة على التحكم في حجم الجسيمات النانوية المفبركة والتباعد. سوف يعتمد حجم وتوزيعات التباعد للفيلم النانوي المفبرك على المعدن والركيزة ومواد طبقة التوجّي وسمك المعدن وسمك طبقة التوجّي. وكمثال على ذلك، فإن الفيلم الذهبي الخمس نانومتر على ثاني أكسيد السيليكون، مع أكسيد الألومنيوم وسمك طبقة صفصاف من صفر، خمسة، 10، و 20 نانومتر يؤدي إلى متوسط أشعة جسيمات نانوية من 14.2، 18.4، 17.3، و 15.6 نانومتر على التوالي.
ومتوسط التباعد غير الجسيمات 36.9، 56.9، 51.3، و 47.2 نانومتر على التوالي. بالنسبة لتوزيع الجسيمات المطلوبة، فإن التحكم الدقيق في سمك طبقة الترسيب أمر بالغ الأهمية. اعتمادا على تطبيق الأفلام الخاصة بك جسيمات نانو، قد تكون هناك حاجة إلى مزيد من التوصيف.
وهذا يشمل القياسات المستندة إلى التطبيقات، مثل امتصاص الضوء والخصائص المغناطيسية. ويمكن إجراء دراسات عن الأفلام النانوية في التطبيق باستخدام هذه التقنية، للسيطرة على حجم الجسيمات وتوزيعها. يجب ارتداء معدات الحماية الشخصية المناسبة.
خاصة لا تأتي في اتصال مع النقوش. تجنب الاتصال مع لوحة ساخنة.
