Herstellung und Betrieb von Acoustofluidic Devices Unterstützung Bulk-Acoustic-Standing Waves für sheathless Fokussierung der Partikel
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10:14 min
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March 6th, 2016
DOI :
March 6th, 2016
•Kapitel in diesem Video
0:05
Title
0:57
Photolithography
2:13
Deep Reactive Ion Etching
2:55
Piranha Cleaning
3:46
Anodic Bonding
5:41
Finalizing the Acoustofluidic Device
6:44
Operating the Acoustofluidic Device
8:01
Results: Acoustofluidic Devices Support Bulk Acoustic Standing Waves
9:03
Conclusion
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